INFICON Edge CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar - Handbuch (Seite 34)

34 tina86d1 (2013-11)
5 Ausbau
Voraussetzungen:
• Vakuumsystem belüftet
• Vakuumsystem abgekühlt auf <50 °C
5.1 Elektrischen Anschluss trennen

Messröhre außer Betrieb setzen.

Arretierungsschrauben lösen und Messkabel ausziehen.
5.2 Vakuumanschluss trennen
GEFAHR
GEFAHR: Heiße Oberfläche
Das Berühren der heißen Oberfläche (>65 °C)
kann zu Verbrennungen führen.
Das Produkt außer Betrieb setzen und abkühlen
lassen.
WARNUNG
WARNUNG: Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zer-
stören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver-
meiden.