INFICON BPG400 ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 2)


Messkabel an die Messröhre anschliessen.

Kabeldose an der Messröhre mit den Arretierungs-
schrauben sichern.

Messkabel an das Messgerät anschliessen.
Betrieb
Nach dem Anlegen der Speisespannung steht zwischen den
Anschlüssen 2 (+) und 12 (–) das Messsignal zur Verfügung
(Beziehung Messsignal-Druck
→ "Technische Daten"
und  [1]).
Die Messröhren BPG400-SD und -SP können außerdem
über die entsprechenden Feldbusschnittstellen (DeviceNet
oder Profibus) betrieben werden (Details zum Betrieb und
den weiteren Funktionen
→  [1] und [2]).
Eine Stabilisierungszeit von ≈10 Minuten ist zu beachten. Die
Messröhre sollte unabhängig vom anliegenden Druck immer
eingeschaltet bleiben.
Gasartabhängigkeit
Der Messwert ist gasartabhängig. Der angezeigte Wert gilt
für trockene Luft, O
2 , CO und N 2 . Für andere Gase ist sie
umzurechnen ( → Technische Daten und  [1]).
Messröhre abgleichen (BPG400)
Der Abgleichvorgang der Messröhren BPG400-SD
und -SP ( →  [1] und [2]) unterscheidet sich von
dem nachfolgend für die BPG400 beschriebenen
Vorgehen.
Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen. Durch Einsatz unter
anderen klimatischen Bedingungen, durch extreme Tempera-
turen, Alterung, Verschmutzung und nach Austausch des
Sensors kann eine Verschiebung der Kennlinie stattfinden
und ein Nachabgleich notwendig werden. Dabei kann nur der
Pirani-Teil abgeglichen werden und zwar bei Atmosphären-
druck.
Ein Abgleich ist notwendig, wenn
• bei Atmosphärendruck die Ausgangsspannung <10 V ist
bzw. die Anzeige <Atmosphärendruck anzeigt
• beim Belüften die Ausgangsspannung 10 V erreicht bevor
der Messdruck den Atmosphärendruck erreicht hat.
(Bei Messröhren mit Anzeige erscheint bei Atmosphären-
druck die Fehlermeldung "5" (Pirani Sensorwarnung)).

Messröhre in Betrieb nehmen.
Messröhre ≈10 Minuten bei
Atmosphärendruck betreiben. Falls die
Messröhre zuvor im BA-Bereich betrieben
wurde, muss mit einer Abkühlzeit von
≈30 Minuten gerechnet werden
(Messröhrentemperatur = Umgebungstempe-
ratur).

Messröhre abgleichen
BPG400 ohne Anzeige
353-500 353-502
BPG400 mit Anzeige
353-501 353-503
Einen Stift ( ≈ш1.3Ч50mm) durch die Öffnung
<FULL SCALE> führen und die darunterliegende Taste
mindestens 5 Sekunden lang drücken.
≈10 s
Abgleichvorgang läuft automatisch.
Der Abgleichvorgang ist damit beendet
Anzeige
(BPG400 mit Artikelnummern 353-501 und 353-503)
Messwert
Masseinheit
Funktionsanzeige
(keine) Piranibetrieb
Emission 25 μ A
Emission 5 mA
Degas
1000 mbar Abgleich (Pirani)
Fehleranzeige
kein Fehler
(grüne Hintergrundbeleuchtung)
Pirani Sensorwarnung
(rote Hintergrundbeleuchtung)
Pirani Sensorfehler
(rote Hintergrundbeleuchtung)
BA-Sensorfehler
(rote Hintergrundbeleuchtung)
Interne Datenverbindung nicht in Ordnung
(rote Hintergrundbeleuchtung)
Ausbau
GEFAHR
GEFAHR: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und
Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten
über eine eventuelle Kontamination. Beim Um-
gang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen
Vorschriften beachten und die Schutzmaßnah-
men einhalten.
Vorsicht
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen
die Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Re-
geln in bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be-
schädigung beachten.
Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder Teilen davon
mit blossen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und
sauberes Werkzeug benutzen.

Vakuumsystem belüften.

Messröhre außer Betrieb setzen.

Arretierungsschrauben lösen und Kabeldose ausziehen
(bei der Messröhre BPG400-SD und –SP muss außer-
dem das Schnittstellenkabel gelöst und entfernt
werden,
→  [1] und [2]).

Messröhre vom Vakuumsystem demontieren.
Schutzdeckel
Instandhaltung, Instandsetzung
Der Sensor kann bei starker Verschmutzung oder Defekt er-
setzt werden (
→  [1]).
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmut-
zung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie
Verschleißteile (z. B. Heizfaden), fallen nicht unter
die Gewährleistung.
Produkt zurücksenden
WARNUNG
WARNUNG: Versand kontaminierter Produkte
Kontaminierte Produkte (z.B. radioaktiver, toxi-
scher, ätzender oder mikrobiologischer Art)
können Gesundheits- und Umweltschäden ver-
ursachen.
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit
frei von Schadstoffen sein. Versandvorschriften
der beteiligten Länder und Transportunterneh-
men beachten. Ausgefüllte Kontaminationser-
klärung
*) beilegen.
*) Formular unter www.inficon.com
Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Pro-
dukte werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Pro-
dukte werden kostenpflichtig zurückgesandt.
Produkt entsorgen
GEFAHR
GEFAHR: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können zu Gesundheits-
schäden führen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten
über eine eventuelle Kontamination. Beim Um-
gang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen
Vorschriften beachten und die Schutzmaßnah-
men einhalten.
WARNUNG
WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe
Produkte oder Teile davon (mechanische und
Elektrokomponenten, Betriebsmittel usw.) kön-
nen Umweltschäden verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäß den örtlichen
Vorschriften entsorgen.
Unterteilen der Bauteile
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsor-
gungstechnisch in folgende Kategorien zu unterteilen:
• Kontaminierte Bauteile
Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikro-
biologisch, usw.) müssen entsprechend den länderspezifi-
schen Vorschriften dekontaminiert, entsprechend ihrer
Materialart getrennt und entsorgt werden.
• Nicht kontaminierte Bauteile
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu
trennen und der Wiederverwertung zuzuführen.
Weitere Informationen
 [1] www.inficon.com
Gebrauchsanleitung
Bayard-Alpert Pirani Gauge BPG400, BPG400-SD,
BPG400-SP
tina03d1 (deutsch)
tina03e1 (englisch)
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein
 [2] www.inficon.com
Kurzanleitung
Bayard-Alpert Pirani Gauge BPG400-SD,
BPG400-SP
tima36d1 (deutsch)
tima36e1 (englisch)
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein
EG-Konformitätserklärung
Hiermit erklären wir, INFICON, für die nachfol-
genden Produkte die Konformität zur EMV-
Richtlinie 2004/108/EG und zur RoHS-Richt-
linie 2011/65/EU.
Produkte
Bayard-Alpert Pirani Gauge
BPG400
BPG400-SD
BPG400-SP
Normen
Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie
Spezifikationen:
• EN 61000-6-2:2005
(EMV Störaussendung)
• EN 61000-6-3:2007 (EMV Störfestigkeit)
• EN 61010-1:2010 (Sicherheitsbestimmungen für elektrische
Mess- u. Steuereinrichtungen)
• EN 61326-1:2006 (EMV-Anforderungen für elektrische
Mess- u. Steuereinrichtungen)
Hersteller / Unterschriften
INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers
11. November 2013 11. November 2013
Dr. Urs Wälchli
Managing Director Marco Kern
Product Manager
LI–9496 Balzers
Liechtenstein
Tel +423 / 388 3111
Fax +423 / 388 3700
[email protected]
www.inficon.com