INFICON SKY CDG025D 0.1 ... 1000 Torr / mbar - Handbuch (Seite 4)

4 tina49d1-c (2009-06)
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen der Messröhre
CDG025D-S mit Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF. Sie gelten
sinngemäss auch für die anderen Messröhren.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehal-
ten.
Alle Massangaben in mm.
Bestimmungsgemässer Gebrauch
Die Capacitance Diaphragm Gauges der Serie CDG025D sind
Vakuum-Messröhren und erlauben die Absolutdruck-Messung
von Gasen in unterschiedlichen Messbereichen (
→ 3).
Die Messröhren gehören zu der Familie SKY
®
Smart Sensors
und können mit einem INFICON-Messgerät (VGC-Serie) oder
mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden.
Funktion
Die CDG-Messröhre besteht aus einem keramischen kapazitiven
Aufnehmerelement und einer Elektronik, die die Kapazität in ein
Gleichspannungs-Ausgangssignal umwandelt.
Das Ausgangssignal ist linear mit dem zu messenden Druck und
unabhängig von der zu messenden Gasart.
Marken
SKY
®
INFICON GmbH
VCR ® Swagelok Marketing Co.
Patente
EP 1070239, 1040333
US Patente 6528008, 6591687, 7107855, 7140085