INFICON Stripe CDG100Dhs 0.1 ... 1000Torr / mbar - Handbuch (Seite 39)

tina95d1 (2014-07) 39
Status-LED
LEDs auf der Messröhre erlauben eine grobe Beurteilung des
Röhrenzustandes und des aktuellen EtherCAT-Status
(
→  [3]).
5 Ausbau
Voraussetzungen:
• Vakuumsystem belüftet
• Vakuumsystem abgekühlt auf <50 °C
5.1 Elektrischen Anschluss trennen

Messröhre außer Betrieb setzen.

Arretierungsschrauben lösen und Messkabel ausziehen.
5.2 Vakuumanschluss trennen
GEFAHR
GEFAHR: Heiße Oberfläche
Das Berühren der heißen Oberfläche (>65 °C)
kann zu Verbrennungen führen.
Das Produkt außer Betrieb setzen und abkühlen
lassen.