INFICON SKY CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar - Handbuch (Seite 25)

tina52d1-d (2014-02) 25
4.2.1
<ZERO> Adjust
Der Nullpunktabgleich kann erfolgen über
• den Taster <ZERO> an der Messröhre,
• den Diagnostik-Port (→  [4]),
• den digitalen Input "Remote Zero" (am Pin 10
(15-polig) oder am Pin 7 (9-polig) kurz die Versor-
gungsspannung anlegen),
• die RS232C-Schnittstelle (→  [4]),
• ein INFICON-Messgerät (VGC-Serie).
Während der Aufwärmphase und bei Atmosphärendruck
ist der Nullpunktabgleich verriegelt, um Fehlbe-
dienungen zu verhindern.

Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entspre-
chend der nachfolgenden Tabelle:
F.S.
Empfohlener Enddruck
bei Nullpunkteinstellung
1100 mbar
1000 Torr/mbar
500 Torr/mbar
200 Torr/mbar
100 Torr/mbar
50 Torr/mbar
20 Torr/mbar
10 Torr/mbar
5
Torr/mbar
2 Torr/mbar
1 Torr/mbar
0.5 Torr/mbar
0.25 Torr/mbar
0.1 Torr/mbar
−
<5
×10 -2
Torr
<2.5 ×10 -2 Torr
<10
-2
Torr
<5 ×10 -3 Torr
<2.5 ×10 -3
Torr
<10 -3 Torr
<5 ×10 -4
Torr
<2.5 ×10 -4 Torr
<10
-4
Torr
<5 ×10 -5 Torr
<2.5 ×10 -5
Torr
<10 -5 Torr
<5 ×10 -6
Torr
<6.65 ×10 0 Pa
<6.65 ×10 0
Pa
<3.33 ×10 0 Pa
<1.33 ×10 -0
Pa
<6.65 ×10 -1 Pa
<3.33 ×10 -1
Pa
<1.33 ×10 -1 Pa
<6.65 ×10 -2
Pa
<3.33 ×10 -2 Pa
<1.33 ×10 -2
Pa
<6.65 ×10 -3 Pa
<3.33 ×10 -3
Pa
<1.33 ×10 -3 Pa
<6.65 ×10 -4
Pa
<5 ×10 -2 mbar
<5 ×10 -2
mbar
<2.5 ×10 -2 mbar
<10
-2
mbar
<5 ×10 -3 mbar
<2.5 ×10 -3
mbar
<10 -3 mbar
<5 ×10 -4
mbar
<2.5 ×10 -4 mbar
<10
-4
mbar
<5 ×10 -5 mbar
<2.5 ×10 -5
mbar
<10 -5 mbar
<5 ×10 -6
mbar
Wird die Nullpunkteinstellung bei zu hohem Enddruck
durchgeführt (>25% von F.S.), kann Zero nicht erreicht
werden und die LED <STATUS> blinkt grün. In diesem
Fall erst die Werkseinstellungen aktivieren und dann den
Nullpunkt erneut abgleichen (
→  32).