INFICON SKY CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar - Handbuch (Seite 4)

4 tina52d1-d (2014-02)
Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild.
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit
Stecker D-Sub, 15-polig, und Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF.
Sie gelten sinngemäß auch für die anderen Messröhren.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehal-
ten.
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Die temperaturgeregelten Capacitance Diaphragm Gauges der
Serie CDG100D sind Vakuum-Messröhren und erlauben die Ab-
solutdruck-Messung von Gasen in unterschiedlichen Messbe-
reichen (
→  3).
Die Messröhren gehören zu der Familie SKY
®
Smart Sensors
und können mit einem INFICON-Messgerät (VGC-Serie) oder
mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden.
Funktion
Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt.
Diese Auslenkung wird kapazitiv gemessen und durch die digi-
tale Elektronik in ein analoges, lineares Ausgangssignal umge-
wandelt.
Das Ausgangssignal ist unabhängig von der zu messenden Gas-
art.
Der auf konstant 100°C geheizte Sensor erlaubt sehr genaue
Druckmessungen. Durch die Temperaturregelung werden Um-
gebungseinflüsse weitgehend vermieden. Bei Prozessanwen-
dungen wird die Ablagerung von Prozess- und Prozessneben-
produkten reduziert. Ein integriertes Baffle schützt den Sensor
vor Beschichtung.
Marken
SKY ® INFICON GmbH
VCR ® Swagelok Marketing Co.