INFICON PSG55x ATM to Medium Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 21)

tina60d1-a (2011-04) 21
Gültig im Bereich 0.375 … 2.842 V
p = a + bU + cU
2
+ dU
3
+ eU
4
+ fU
5
a –0.02585 c 0.04563 e –0.04158
b 0.03767
d 0.1151 f 0.008737
wobei p Druck in Torr a, b, c, d, e, f Konstante
U Messsignal
Gültig im Bereich 2.842 … 4.945 V
a + cU + eU
2
p =
1 + bU + dU
2
+ fU
3
a 0.1031 c –0.02322 e 0.07229
b –0.3986 d 0.07438 f –0.006866
wobei p Druck in Torr a, b, c, d, e, f Konstante
U Messsignal
Gültig im Bereich 4.945 … 5.529 V
a + cU
p =
1 + bU + dU
2
a 100.624 c –20.5623
b –0.37679 d 0.0348656
wobei p Druck in Torr a, b, c, d Konstante
U Messsignal