2 gasartabhängigkeit, C × angezeigter druck, Kalibrierfaktoren – INFICON PSG55x ATM to Medium Vacuum Gauge Benutzerhandbuch
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tina60d1-a (2011-04)
23
2.2 Gasartabhängigkeit
Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft)
10
2
8
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10
1
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–1
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1
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2
H
2
He
Ne
Xe
Kr
Ar
CO
2
Freon 12
Luft / Air
O
2
CO
N
2
p (mbar)
p
eff
(mbar)
H
2
O-Dampf
Kalibrierfaktoren
gültig für den Pirani-Druckbereich unter 1 mbar
p
eff
= C × angezeigter Druck
Gasart Kalibrier-
faktor C
Gasart Kalibrier-
faktor C
He
Ne
Ar
Kr
Xe
0.8
1.4
1.7
2.4
3.0
H
2
Luft, O
2
, CO, N
2
CO
2
Wasserdampf
Freon 12
0.5
1.0
0.9
0.5
0.7
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