INFICON PSG55x ATM to Medium Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 52)

52 tina60d1-a (2011-04)
p
Für den ATM-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift (max.
ø1.1 mm) kurz drücken: Der Pirani-Sensor gleicht auf
1000 mbar (standard) ab.
ATM
HV
q
Vakuumsystem auf p <<10
-5
mbar evakuieren, anschlie-
ßend mind. 2 Minuten warten.
r
Für den HV-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift drü-
cken: Die Messröhre gleicht auf 5×10
-5
mbar (standard) ab.
HV-Abgleich auf anderen Druck → [3].
Wird am Messsignalausgang oder im LCD der Druck
4.99×10
-5
mbar ausgegeben, war der Abgleich erfolgreich.
Andernfalls den Abgleich wiederholen.