INFICON PSG55x ATM to Medium Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 6)

6 tina60d1-a (2011-04)
Inhalt
Produktidentifikation 2
Gültigkeit 3
Bestimmungsgemäßer Gebrauch 5
Marke 5
Patente 5
Lieferumfang 5
1 Sicherheit 8
1.1 Verwendete Symbole 8
1.2 Personalqualifikation 8
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 9
1.4 Verantwortung und Gewährleistung 9
2 Technische Daten 10
2.1 Beziehung Messsignal – Druck 18
2.2 Gasartabhängigkeit 23
3 Einbau 24
3.1 Vakuumanschluss 24
3.2 Elektrischer Anschluss 27
3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig 28
3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig 29
3.2.3 Stecker D-Sub, 15-polig HD 30
3.2.4 Stecker D-Sub, 15-polig HD, RS485 INF 31
3.2.5 Stecker DeviceNet 32
3.2.6 Stecker Profibus 33
4 Betrieb 34
4.1 Anzeigen 34
4.2 Gasartabhängigkeit 38
4.3 Schaltfunktionen SP1, SP2 38
4.4 Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle) 44
4.5 DeviceNet-Betrieb 45
4.6 Profibus-Betrieb 48
5 Ausbau 49