INFICON VSA100A differential to ambient Benutzerhandbuch
Seite 10
Contents
Page
1
Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.1
General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.1.1
Intended Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.2
Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.3
Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4
Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4.1
Scope of delivery . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2
Start-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.1
Vacuum Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.2
Electrical Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3
Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.1
Service at INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4
Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
EEC Declaration of Conformity . . . . . . . . . . . . . . 16
Declaration of Contamination . . . . . . . . . . . . . . . 17
Die deutsche Gebrauchsanleitung
beginnt auf Seite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
General Note
The right of alterations in the design and the technical
data is reserved.
The illustrations are not binding.
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tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
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Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.1
General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.1.1
Intended Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.2
Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.3
Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4
Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4.1
Scope of delivery . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
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Start-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.1
Vacuum Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.2
Electrical Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
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Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.1
Service at INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
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Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
EEC Declaration of Conformity . . . . . . . . . . . . . . 16
Declaration of Contamination . . . . . . . . . . . . . . . 17
Die deutsche Gebrauchsanleitung
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General Note
The right of alterations in the design and the technical
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The illustrations are not binding.