INFICON PCG55x ATM to Medium Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 10)

10 tina56d1-d (2014-01)
2 Technische Daten
Weitere technische Daten für Messröhren mit serieller
Schnittstelle →  [3], [4], [5], [6].
Messbereich 5×10
-5
… 1500 mbar
Messprinzip
10 mbar … 1500 mbar
Kapazitiver Membran-
Sensor
1 … 10 mbar Mischbereich
5×10
-5
… 1 mbar Wärmeleitung nach Pirani
Genauigkeit (N
2
)
5Ч10
-4
… 1Ч10
-3
mbar
±50% des
Messwertes
1×10
-3
… 100 mbar ±15% des Messwertes
100 … 950 mbar ±5% des Messwertes
950 … 1050 mbar ±2.5% des Messwertes
Wiederholbarkeit (N
2
)
1×10
-3
… 1100 mbar
±2% des
Messwertes
Ausgangssignal (Messsignal)
Spannungsbereich
3PCx-0xx-xxx0
0 … +10.23 V
3PCx-0xx-xxx1 0 … +8.68 V
3PCx-0xx-xxx2 0 … +5.659 V
3PCx-0xx-xxx3 0 … +9.05 V
Messbereich
3PCx-0xx-xxx0
+0.61 … +10.23 V
3PCx-0xx-xxx1 +1.2 … +8.68 V
3PCx-0xx-xxx2 +0.375 … +5.659 V
3PCx-0xx-xxx3 +1.57 … +9.05 V
Fehlersignal 0 V (ab Werk)