2 atmosphärendrucksensor abgleichen – INFICON PCG55x ATM to Medium Vacuum Gauge Benutzerhandbuch
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tina56d1-d (2014-01)
Wird am Messsignalausgang oder im LCD der Druck
4.99×10
-5
mbar ausgegeben, war der Abgleich erfolgreich.
Andernfalls den Abgleich wiederholen.
6.2 Atmosphärendrucksensor
abgleichen
Der Umgebungsdruck der Messröhre (Atmosphärendruck) wird
in der Elektronikeinheit der Messröhre durch einen separaten
Atmosphärendrucksensor gemessen.
Der Atmosphärendrucksensor kann mit dem kapazitiven Mem-
bransensor geeicht werden. Dabei vergleicht die Elektronik bei
belüftetem Vakuumsystem die Ausgangssignale dieser beiden
Sensoren und führt die entsprechenden Korrekturen des Atmos-
phärendrucksensor-Signals aus.
Der Abgleich des Atmosphärendrucksensors kann
erfolgen über
• den Diagnostik-Port (→ [3])
• DeviceNet-, Profibus-, EtherCAT und RS485-
Schnittstelle (
→ [3], [4], [5], [6]).