2 gasartabhängigkeit, C × angezeigter druck, Kalibrierfaktoren – INFICON PCG55x ATM to Medium Vacuum Gauge Benutzerhandbuch
Seite 24: Angezeigter druck (messröhre abgeglichen für luft), Gültig für den pirani-druckbereich unter 1 mbar, Luft, o, Co, n
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tina56d1-d (2014-01)
2.2 Gasartabhängigkeit
Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft)
10
2
10
1
10
0
10
–1
10
–2
8
6
4
2
10
–3
10
–4
2
4 6
10
–3
2
4 6
10
–2
2
4 6
2
4 6
10
0
2
4 6
10
1
10
–1
10
–4
p
eff
[mbar]
2
4 6
10
2
2
4 6
10
3
10
3
p [mbar]
2
Luft, O
2
, CO, N
2
He
Ar
Pirani-
sensor
Misch-
bereich
Kapazitiver
Membran-
Sensor
8
6
4
2
8
6
4
2
8
6
4
2
8
6
4
2
8
6
4
2
8
6
4
2
4
2
Kalibrierfaktoren
gültig für den Pirani-Druckbereich unter 1 mbar
p
eff
= C × angezeigter Druck
Gasart Kalibrier-
faktor C
Gasart Kalibrier-
faktor C
He
Ne
Ar
Kr
Xe
0.8
1.4
1.7
2.4
3.0
H
2
Luft, O
2
, CO, N
2
CO
2
Wasserdampf
Freon 12
0.5
1.0
0.9
0.5
0.7
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