INFICON PCG55x ATM to Medium Vacuum Gauge Benutzerhandbuch
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tina56d1-d (2014-01)
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Die Messröhre wird auf Standardwerte abgeglichen, kann aber
auch auf andere Druckwerte eingestellt werden. Dies bedingt
jedoch, den exakten Druckwert zu kennen (Referenzmessung).
Eventuell eingesetzte Dichtung mit Zentrierring und Filter
auf Verschmutzung prüfen und nötigenfalls ersetzen
(
→
"Ausbau").
Messröhre in Betrieb nehmen und mindestens 10 Minuten
bei Atmosphärendruck betreiben.
Für den ATM-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift (max.
ø1.1 mm) kurz drücken: Der Pirani-Sensor gleicht auf
1000 mbar (standard) ab.
ATM
HV
Vakuumsystem auf p <<10
-5
mbar evakuieren, anschlie-
ßend mind. 2 Minuten warten.
Für den HV-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift drü-
cken: Die Messröhre gleicht auf 5×10
-5
mbar (standard) ab.
HV-Abgleich auf anderen Druck
→ [3].