INFICON PCG55x ATM to Medium Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 6)

6 tina56d1-d (2014-01)
Inhalt
Produktidentifikation 2
Gültigkeit 3
Bestimmungsgemäßer Gebrauch 5
Funktion 5
Marke 5
Patente 5
Lieferumfang 5
1 Sicherheit 8
1.1 Verwendete Symbole 8
1.2 Personalqualifikation 8
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 9
1.4 Verantwortung und Gewährleistung 9
2 Technische Daten 10
2.1 Beziehung Messsignal – Druck 19
2.2 Gasartabhängigkeit 24
3 Einbau 25
3.1 Vakuumanschluss 25
3.2 Elektrischer Anschluss 28
3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig 29
3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig 30
3.2.3 Stecker D-Sub HD, 15-polig 31
3.2.4 Stecker D-Sub HD, 15-polig, RS485 INF 32
3.2.5 Stecker DeviceNet 33
3.2.6 Stecker Profibus 34
3.2.7 Stecker EtherCAT 35
4 Betrieb 36
4.1 Anzeigen 36
4.2 Gasartabhängigkeit 40
4.3 Schaltfunktionen SP1, SP2 40
4.4 ATM-Schaltpunkt 47
4.5 Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle) 49
4.6 DeviceNet-Betrieb 50
4.7 Profibus-Betrieb 53
4.8 EtherCAT-Betrieb 55