2 technische daten – INFICON Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar, new 10mTorr Benutzerhandbuch
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tina84d1 (2014-07)
2 Technische
Daten
Messbereich
→ "Gültigkeit"
Präzision
1)
0.01 … 0.05 F.S.
0.2% vom Messwert
Genauigkeit
2)
0.1 … 1100 F.S.
0.15% vom Messwert
Temperatureinfluss auf Nullpunkt
0.01 … 0.02 F.S.
0.05 … 0.5 F.S.
1 … 1100 F.S.
0.0100% F.S./ °C
0.0050% F.S./ °C
0.0025% F.S./ °C
Temperatureinfluss auf Bereich
0.01% vom Messwert / °C
Auflösung
0.003% F.S.
Gasartabhängigkeit keine
Ausgangssignal analog
(Messsignal)
Messbereich
0 … +10 V
Spannungsbereich
–5 … +10.5 V
(begrenzt auf +10.5 V)
Beziehung Spannung-Druck
linear
Ausgangsimpedanz
0
Ω (kurzschlussfest)
Lastimpedanz
>10 k
Ω
Sprungantwortzeit
3)
analoges Ausgangssignal
digitales Ausgangssignal
(EtherCAT-Schnittstelle)
≤1 ms
≤2 ms
Identifikation
Widerstand R
Ident
Spannung
13.2 k
Ω gegen Speisungserde
≤5 V
1)
→ ISO/WD 15725-1
2)
Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholgenauigkeit bei 25 °C Um-
gebungstemperatur ohne Temperatureinfluss nach 2 h Betrieb.
3
)
Anstieg 10 … 90 % F.S.R.