INFICON Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar, new 10mTorr - Handbuch (Seite 4)

4 tina84d1 (2014-07)
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit
Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF. Sie gelten sinngemäß auch
für die anderen Vakuumanschlüsse.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehal-
ten.
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Die temperaturgeregelten Capacitance Diaphragm Gauges der
Serie Stripe CDG045Dhs sind Vakuum-Messröhren und erlau-
ben die Absolutdruck-Messung von Gasen in unterschiedlichen
Messbereichen (
→  3).
Die Messdaten werden idealerweise digital über die EtherCAT-
Schnittstelle oder analog ausgelesen. Die Messröhren können
auch mit einem INFICON-Messgerät (VGC-Serie) oder mit
einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden.
Funktion
Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt.
Diese Auslenkung wird kapazitiv gemessen und durch die digi-
tale Elektronik in ein digitales oder analoges, lineares Ausgangs-
signal umgewandelt. Das digitale Ausgangssignal kann nur über
die EtherCAT-Schnittstelle ausgelesen werden.
Die Ausgangssignale sind unabhängig von der zu messenden
Gasart.
Der auf konstant 45°C geheizte Sensor erlaubt sehr genaue
Druckmessungen. Durch die Temperaturregelung werden Um-
gebungseinflüsse weitgehend vermieden. Bei Prozessanwen-
dungen wird die Ablagerung von Prozess- und Prozessneben-
produkten reduziert.
Marken
SKY ® INFICON GmbH
VCR
®
Swagelok Marketing Co.