INFICON Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar, new 10mTorr Benutzerhandbuch
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tina84d1 (2014-07)
Inhalt
Produktidentifikation 2
Gültigkeit 3
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
4
Funktion 4
Marken 4
Patente 5
Lieferumfang 5
1
Sicherheit 8
1.1
Verwendete Symbole
8
1.2
Personalqualifikation 8
1.3
Grundlegende Sicherheitsvermerke
9
1.4
Verantwortung und Gewährleistung
9
2
Technische Daten
10
3
Einbau 16
3.1
Vakuumanschluss 16
3.2
Elektrischer Anschluss
19
3.2.1
Stecker D-Sub, 15-polig
20
3.2.2
Stecker EtherCAT
21
3.2.3
Stecker Mini-USB Typ B (Diagnostik-Port)
22
4
Betrieb 23
4.1
Anzeigen 23
4.2
Messröhre abgleichen
24
4.3
Schaltfunktionen SP1, SP2
28
4.4
Fehler Status
33
4.5
ATM-Schaltpunkt 33
4.6
Werkseinstellung laden (Factory Reset)
35
4.7
Diagnostik-Port (USB-Schnittstelle)
36
4.8
EtherCAT-Betrieb 37
5
Ausbau 38
6
Instandhaltung, Instandsetzung
40