F.s. empfohlener enddruck bei nullpunkteinstellung – INFICON Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar, new 10mTorr Benutzerhandbuch
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tina84d1 (2014-07)
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• den digitalen Eingang "Remote Zero" am Pin 10 kurz
die Versorgungsspannung anlegen),
• ein INFICON-Messgerät (VGC-Serie).
Während der Aufwärmphase und bei Atmosphärendruck
ist der Nullpunktabgleich verriegelt, um Fehlbe-
dienungen zu verhindern.
Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entspre-
chend der nachfolgenden Tabelle:
F.S.
Empfohlener Enddruck
bei Nullpunkteinstellung
1100 mbar
1000 Torr
500 Torr/mbar
200 Torr/mbar
100 Torr/mbar
50 Torr/mbar
20 Torr/mbar
10 Torr/mbar
5
Torr/mbar
2
Torr/mbar
1
Torr/mbar
0.5 Torr/mbar
0.25 Torr/mbar
0.1 Torr/mbar
0.05 Torr/mbar
0.02 Torr/mbar
0.01 Torr
−
<5×10
-2
Torr
<2.5×10
-2
Torr
<10
-2
Torr
<5×10
-3
Torr
<2.5×10
-3
Torr
<10
-3
Torr
<5×10
-4
Torr
<2.5×10
-4
Torr
<10
-4
Torr
<5×10
-5
Torr
<2.5×10
-5
Torr
<10
-5
Torr
<5×10
-6
Torr
<2.5×10
-6
Torr
<10
-6
Torr
<5×10
-7
Torr
<6.65×10
0
Pa
<6.65×10
0
Pa
<3.33×10
0
Pa
<1.33×10
-0
Pa
<6.65×10
-1
Pa
<3.33×10
-1
Pa
<1.33×10
-1
Pa
<6.65×10
-2
Pa
<3.33×10
-2
Pa
<1.33×10
-2
Pa
<6.65×10
-3
Pa
<3.33×10
-3
Pa
<1.33×10
-3
Pa
<6.65×10
-4
Pa
<3.33×10
-4
Pa
<1.33×10
-4
Pa
<6.65×10
-5
Pa
<6.65×10
-2
mbar
−
<3.33×10
-2
mbar
<1.33×10
-2
mbar
<6.65×10
-3
mbar
<3.33×10
-3
mbar
<1.33×<10
-3
mbar
<6.65×10
-4
mbar
<3.33×10
-4
mbar
<1.33×10
-4
mbar
<6.65×10
-5
mbar
<3.33×10
-5
mbar
<1.33×10
-5
mbar
<6.65×10
-6
mbar
<3.33×10
-6
mbar
<1.33×10
-6
mbar
−
Wird die Nullpunkteinstellung bei zu hohem Enddruck
durchgeführt (>25% von F.S.), kann Zero nicht erreicht
werden und die LED <STATUS> blinkt grün. In diesem
Fall erst die Werkseinstellungen aktivieren und dann den
Nullpunkt erneut abgleichen (
→ 35).
Die Messröhre mind. 2 Stunden betreiben (bis Messwert
stabil ist).