INFICON Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar, new 10mTorr - Handbuch (Seite 39)

tina84d1 (2014-07) 39
Vorsicht
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Re-
geln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be-
schädigung beachten.
Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und
sauberes Werkzeug benutzen.
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Vakuumsystem belüften.
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Messröhre außer Betrieb setzen.
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Arretierungsschrauben lösen, Mess- und EtherCAT-Kabel
ausziehen.
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Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutz-
kappe aufsetzen.