INFICON SKY CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr / mbar process gauge Benutzerhandbuch
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tina57d1 (2010-01)
Stromaufnahme
<500 mA
(max. Einschaltstrom)
Leistungsaufnahme
(speisespannungsabhängig)
≤1 W
Sicherung (vorzuschalten)
2)
1 AT (träge), automatisch
rückstellend (Polyfuse)
Messröhre ist gegen Verpolung der Versorgungsspannung ge-
schützt.
Anschluss elektrisch
15-polig D-Sub, Stifte
Messkabel
9-polig plus Abschirmung
Leitungslänge
≤100 m (0.14 mm² Leiter)
Für längere Kabel sind grössere Leiterquerschnitte erforderlich
(R
Leiter
≤
1.0
Ω).
Erdkonzept
Vakuumflansch–Signalerde
→ "Elektrischer Anschluss"
Speisungserde–Signalerde
getrennt geführt; für diffe-
rentielle Messung (10
Ω)
Werkstoffe gegen Vakuum
Flansch, Rohr
Sensor und Membran
Edelstahl AISI 316L
Keramik (Al
2
O
3
≥99.5%)
Inneres Volumen
≤3.6 cm
3
Maximaldruck (absolut)
≥200 Torr/mbar (F.S.)
1 … 100 Torr/mbar (F.S.)
0.1 / 0.25 Torr/mbar (F.S.)
3 bar
2 bar
1.3 bar
Berstdruck (absolut)
5 bar