INFICON SKY CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr / mbar process gauge - Handbuch (Seite 5)

tina57d1 (2010-01) 5
Inhalt
Produktidentifikation 2
Gültigkeit 3
Bestimmungsgemässer Gebrauch 4
Funktion, Marken, Patente, Lieferumfang 4
1
Sicherheit 6
1.1 Verwendete Symbole 6
1.2 Personalqualifikation 6
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 7
1.4 Verantwortung und Gewährleistung 7
2 Technische Daten 8
3 Einbau 13
3.1 Vakuumanschluss 13
3.2 Elektrischer Anschluss 16
4 Betrieb 18
4.1 Anzeigen 18
4.2 Messröhre abgleichen 19
4.3 Schaltfunktionen 23
4.4 Werkseinstellung laden (Factory Reset) 26
5 Ausbau 27
6 Instandhaltung, Instandsetzung 29
7 Produkt zurücksenden 29
8 Produkt entsorgen 30
Literatur 31
Kontaminationserkärung 32
ETL-Zertifizierung 33
EG-Konformitätserklärung 34
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