INFICON SKY CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr / mbar process gauge - Handbuch (Seite 20)

20 tina57d1 (2010-01)
4.2.1 <ZERO> Adjust
Der Nullpunktabgleich kann erfolgen über
• den Taster <ZERO> an der Messröhre,
• die RS232C-Schnittstelle (→ [4]),
• ein INFICON-Messgerät (VGC-Serie).
Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entspre-
chend der nachfolgenden Tabelle:
F.S.
Empfohlener Enddruck
bei Nullpunkteinstellung
1100 mbar
1000 Torr/mbar
200 Torr/mbar
100 Torr/mbar
20 Torr/mbar
10 Torr/mbar
2
Torr/mbar
1 Torr/mbar
0.25 Torr/mbar
0.1 Torr/mbar
−
<5
×10 -2
Torr
<10 -2 Torr
<5 ×10 -3
Torr
<10 -3 Torr
<5 ×10 -4
Torr
<10 -4 Torr
<5 ×10 -5
Torr
<10 -5 Torr
<5 ×10 -6
Torr
<6.65 ×10 0 Pa
<6.65 ×10 0
Pa
<1.33 ×10 -0 Pa
<6.65 ×10 -1
Pa
<1.33 ×10 -1 Pa
<6.65 ×10 -2
Pa
<1.33 ×10 -2 Pa
<6.65 ×10 -3
Pa
<1.33 ×10 -3 Pa
<6.65 ×10 -4
Pa
<5 ×10 -2 mbar
<5 ×10 -2
mbar
<10 -2 mbar
<5 ×10 -3
mbar
<10 -3 mbar
<5 ×10 -4
mbar
<10 -4 mbar
<5 ×10 -5
mbar
<10 -5 mbar
<5 ×10 -6
mbar
Wird die Nullpunkteinstellung bei zu hohem Enddruck
(>25% von F.S.) durchgeführt, kann Zero nicht erreicht
werden und die LED <RUN> blinkt. In diesem Fall erst die
Werkseinstellungen aktivieren und dann den Nullpunkt
erneut abgleichen (
→ 26).
Die Messröhre mind. ¼ Stunde betreiben (bis Messwert
stabil ist).