INFICON SKY CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr / mbar process gauge - Handbuch (Seite 28)

28 tina57d1 (2010-01)
Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder Teilen davon mit
blossen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und
sauberes Werkzeug benutzen.
Vakuumsystem belüften.
Messröhre ausser Betrieb setzen.
Arretierungsschrauben lösen und Messkabel ausziehen.
Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutz-
deckel aufsetzen.