INFICON T-Guard Leak Detection Sensor - Handbuch (Seite 18)

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Beschreibung
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In dem seltenen Fall, dass der Sensor mit Helium verseucht ist, ist nur das Ventil V3
zum Referenzeinlass "Ref" geöffnet, um den Sensor zu spülen. In diesem Fall muss
hochreiner Stickstoff oder Außenluft dem Referenzeinlass zugeführt werden um den
Sensor möglichst schnell zu entseuchen.
Fig. 3-8 Ventilkonfiguration in Dekontaminierung
Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung
1 Eingang "IN" 8 Druckmesser p1
2 Referenz “Ref” 9 Pumpe
3 Filter 2 10 Pumpenanschluss "AUS"
4 Ventil V
3
11 Drossel 3
5 Ventil V
2
12 Drossel 1
6 Drossel 2 13 Ventil V
1
7 Wise Technology™ Sensor 14 Filter 1