INFICON Ecotec E3000 Multigas-Sniffer-Leak Detector - Handbuch (Seite 52)

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Tabelle 7: Geräteinformationen
Menüpunkt Format Beschreibung
Seite 1: Allgemeines
Vorvakuumdruck mbar Druck am Einlass des Massenspektrometers
Fluss sccm Fluss durch die Schnüffelleitung
Totaldruck mbar Druck im Massenspektrometer
Zeit seit Power ON Min
Betriebsstunden h
Seriennummer 9000 XXX XXXX
Softwareversion x.xx.xx
Elektronik Temp. °C / °F Temperatur der CPU-Karte
TSP Temperatur °C / °F Temperatur des Massenspektrometers
Kalibrierlecktemperatur °C / °F Temperatur des ECO-Check
Seite 2: Daten der Turbomolekularpumpe
Zustand An / Aus / Hochlauf
Akt. Fehlercode
Drehzahl Hz
Strom A
Spannung V
Antriebsleistung W
Betriebsstunden der TMP h Betriebsstunden der Turbomolekularpumpe
Betriebsstunden TC h Betriebsstunden des Frequenzwandlers für TMP
Hochlaufzeit s
Softwareversion xxxxxx
Seite 3: Daten des Transpectors
Konfiguration
Box version x.xx
Control SW version x.xx
Measure SW version x.xx
Filament A oder B/A oder B Eingestellte Kathode/aktive Kathode
Power on time h
Emission on time A h
Emission on time B h
TSP Temperatur °C / °F Temperatur des Massenspektrometers
Argon-Position + / - x.xx
Seite 4: Daten des ECO-Check
Gas Rxxx Gas des internen Lecks
Leckrate nom. / bei T x.x g/a / x.x g/a Nennleckrate / Leckrate bei aktueller Temperatur
Version / Checks. x.x / Hexadezimalcode Software-Version mit Checksum
Serien Nr. 9000 XXX XXXX
Serien Nr Reservoir 9000 XXX XXXX
Abfülldatum TT.MM.JJJJ
Ablaufdatum TT.MM.JJJJ
Gain / Offset Parameter für die Temperatur-Messung im ECO-Check