INFICON LDS3000 Modular Leak Detector - Handbuch (Seite 10)

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4 Beschreibung
Das Massenspektrometer-Modul ist ein Teil des Dichtheitsprüfsystems LDS3000.
Das Massenspektrometer-Modul kann ohne INFICON-Zubehör in einer Prüfanlage
betrieben werden.
4.1 Aufbau des Geräts
1- Anschlussblock
Anschlüsse für Prüfanlage, Vorvakuumpumpe, PIRANI-Druckmessstelle, internes
Kalibrierleck und Schnüffelleitung.
1: Anschluss U
LTRA , 2: Anschluss F INE /S NIFFER , 3: Anschluss G ROSS /F OREPUMP
Abb. 1 Massenspektrometer-Modul LDS3000
Abb. 2 Anschlussblock