INFICON LDS3000 Modular Leak Detector - Handbuch (Seite 4)

4 Inhalt
6.2.2 Mögliche Belegungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6.2.3 Ausgangsspannungen im Fehlerfall . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.2.4 Konfiguration (LDS2010-kompatibel) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.3 Digitale Eingänge des I/O-Moduls belegen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
6.4 Digitale Ausgänge des I/O-Moduls belegen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
6.5 Messung starten/stoppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.6 Parameter laden und speichern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.7 Betriebsart wählen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.8 Zero aktivieren/deaktivieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.9 Signalfilter wählen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
6.10 Gerät kalibrieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
6.10.1 Interne Kalibrierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
6.10.2 Externe Kalibrierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
6.10.3 Kalibrieraufforderung aktivieren/deaktivieren . . . . . . . . . . . . 34
6.10.4 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen . . . . . . . . . . . . . . 34
6.11 Messgas wählen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
6.12 Vorvakuumpumpe von Prüfgas dekontaminieren . . . . . . . . . . . . . . . . 35
6.13 Einheiten für Leckrate wählen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
6.14 Einheiten für Druck wählen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
6.15 Korrektur der Leckrate im Standby aktivieren/deaktivieren . . . . . . . . 36
6.16 Leckratenschwellwerte einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
6.17 Z
ERO -Taste (Schnüffeltaster) aktivieren/deaktivieren . . . . . . . . . . . . . 36
6.18 Kapillarüberwachung einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
6.19 Kompatibilität zu LDS1000 und LDSS2010 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
6.20 Warn- und Fehlermeldungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
6.20.1 Fehlercodes der Status-LED . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
7 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
7.1 Wartung und Service bei INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
7.2 Allgemeine Wartungshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
7.3 Wartungsplan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
7.4 Wartungsarbeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
7.4.1
Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe tauschen . . . . 45
8 Außerbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
8.1 Lecksuchgerät stillsetzen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
8.2 Massenspektrometer-Modul entsorgen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
8.3 Massenspektrometer-Modul einsenden . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
9 Anhang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
9.1 EG-Einbauerklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
9.2 Kontaminationserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51