INFICON LDS3000 Modular Leak Detector - Handbuch (Seite 3)

Inhalt 3
Inhalt
1 Zu dieser Anleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.1 Zielgruppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2 Mitgeltende Dokumente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.3 Darstellung von Informationen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.3.1
Warnhinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.3.2 Text-Auszeichnungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2 Sicherheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.2 Anforderungen an den Betreiber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.3 Anforderungen an den Anwender . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.4 Allgemeine Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3 Lieferumfang prüfen, Transport, Lagerung . . . . . . . . . . 9
3.1 Lieferumfang prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.2 Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.3 Lagerung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1 Aufbau des Geräts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.1
MSB-Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2 Funktion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.3 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.3.1
Mechanische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.3.2 Elektrische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.3.3 Physikalische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.3.4 Umgebungsbedingungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.3.5 Werkseinstellungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5 Montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.1 MSB-Box drehen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren . . . . . . . . . . . . 17
5.3 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage anschließen . . . . . . . . . . 19
5.4 Anschlussblock anschließen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.5 MSB-Box anschließen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6 Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6.1 Gerät einschalten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6.2 Analoge Ausgänge des I/O-Moduls belegen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6.2.1
Werksseitige Belegung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22