INFICON LDS3000 Modular Leak Detector Benutzerhandbuch
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Wartung
Alten Betriebsmittelspeicher entnehmen
Stirnlochschlüssel, P/N: 551-200
Zwei Schraubendreher
Pinzette
O-Ring
Betriebsmittelspeicher, P/N: 200 003 801
Massenspektrometer und Turbomolekularpumpe geflutet.
1
Auf Verfallsdatum des neuen Betriebsmittelspeichers achten.
Der neue Betriebsmittelspeicher ist ausreichend mit Betriebsmittel gefüllt.
2
Kein zusätzliches Betriebsmittel einfüllen.
3
Verschlussdeckel mit Stirnlochschlüssel herausschrauben.
4
Alten O-Ring entnehmen.
5
Betriebsmittelspeicher mit zwei Schraubendrehern herausheben.
Vergiftungsgefahr durch gesundheitsschädliche Stoffe
Der Betriebsmittelspeicher und Teile der Turbomolekularpumpe können mit
giftigen Substanzen aus den gepumpten Medien kontaminiert sein.
► Geeignete Sicherheitsvorkehrungen treffen.
► Kontaminierte Teile vor Ausführung von Wartungsarbeiten dekontaminieren.
► Alte Betriebmittelspeicher nach geltenden Vorschriften entsorgen.