10 gerät kalibrieren – INFICON LDS3000 Modular Leak Detector Benutzerhandbuch
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Betrieb
6.10
Gerät kalibrieren
► Um Messgenauigkeit zu gewährleisten, Gerät regelmäßig kalibrieren.
Information Eine Kalibrierung zu Beginn jeder Schicht ist empfehlenswert.
Falsche Mess-Ergebnisse durch vorzeitige Kalibrierung
Wenn das Gerät vorzeitig kalibriert wird, dann liefert es falsche Mess-Ergebnisse.
► Gerät vor Kalibrierung mindestens 20 Minuten laufenlassen.
Kalibrierung
Besonderheiten
intern
• mit internem Prüfleck
• Autotune (Massenabgleich)
• Bestimmung des
Kalibrierfaktors bei
eingeschwungenem Signal
des Prüflecks
• Bestimmung des Untergrunds
Bei Bedarf nach dem
Kalibrieren den Maschinen-
bzw. Schnüffelfaktor einstellen,
siehe
extern
• Vakuumbetrieb: mit externem
Prüfleck in Prüfanlage
• Schnüffelbetrieb: mit externem
Schnüffelleck
• Berücksichtigung der
Charakteristika der Prüfanlage
(Druck, Teilstromverhältnis)
• Autotune (Massenabgleich)
• Bestimmung des
Kalibrierfaktors nachdem das
Signal des Prüflecks
eingeschwungen ist
• Bestimmung des Untergrunds
extern -
dynamisch
• mit externem Prüfleck in
Prüfanlage
• Berücksichtigung der
Charakteristika der Prüfanlage
(Druck, Teilstromverhältnis,
Messzeit)
• Messzeit entsprechend des
dynamischen Signalverlaufs
• Bestimmung des
Kalibrierfaktors bevor das
Signal des Prüflecks
eingeschwungen ist
• Bestimmung des Untergrunds