INFICON LDS3000 Modular Leak Detector Benutzerhandbuch
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Beschreibung
2 - SNIFFER
Elektrischer Anschluss für Schnüffelleitung
3 - GAUGES, EXT
Anschluss für optionale externe Druckmessstellen (0 ... 10 V bzw. 0 … 20 mA) für
INFICON-Service
Steckerbelegung
4 - 1
Anschluss für PIRANI-Druckmessstelle, Prüfleck und Suppressor am Vorverstärker
(vormontiertes, dreifaches Kabel)
5 - 24VDC
Anschluss für 24-V-Netzteil zur Versorgung von Massenspektrometer-Modul, Bedie-
neinheit, I/O-Modul und Bus-Modul.
6 - 2
Anschluss für Wandler Turbomolekularpumpe und Lüfter Turbomolekularpumpe
(vormontiertes, zweifaches Kabel)
7 - ION SOURCE
Anschluss für Ionenquelle
8 - 3
Anschluss für Vorverstärker
9 -
Power-LED
Die Power-LED und die Status-LED zeigen den Betriebszustand des Geräts, siehe
unter Punkt 12 - S
TATUS
.
10 - SERVICE
RS232-Anschluss für INFICON-Service
11 - I/O / ANYBUS
Anschluss für I/O- oder Bus-Modul oder Bedieneinheit
Information Die Anschlüsse I/O / A
NYBUS
und C
ONTROL
U
NIT
haben die gleiche
Funktionalität. Sie können wahlweise anschließen:
– Bedieneinheit CU1000 + I/O-Modul IO1000 oder
– Bedieneinheit CU1000 + Bus-Modul BM1000 oder
– I/O-Modul IO1000 + Bus-Modul BM1000 oder
– 2 Bedieneinheiten CU1000 oder
– 2 I/O-Module IO1000 (nur zusammen konfigurierbar)
1
+24-V-Output, max. 200 mA
2
Input für P3-Service-Druckmessstelle, 0 ... 10 V
3
GND
4
Referenz zum Input für P3-Service-Druckmessstelle
5
20-mA-Input für P3-Service-Druckmessstelle