INFICON LDS3000 Modular Leak Detector - Handbuch (Seite 39)

Betrieb 39
350 W
Suppressor not
connected
39 130
Supressorkabel beim
Selbsttest nicht gesteckt
oder defekt
360 W
Preamp output too low
(preamp voltage [V])
31 123
<-70 mV
bei
500 GΩ Ionenquelle schlecht oder
Massenspektrometer
verunreinigt
361 W
Preamp offset too high
(Offset [V])
31 123
>+/-50 mV
bei
500 GΩ,
>+/-10 mV
bei 15 GΩ,
<+/-10 mV
bei
470 MΩ,
<+/-9 mV
bei 13 MΩ
Vorverstärker defekt
362 W
Preamp range error
(preamp voltage [V])
31 123
Vorverstärker oder MSB-
Box defekt
390 W
500 G out of range,
(resistor [Ω])
31 123
450 GΩ
550 GΩ
Vorverstärker defekt,
Fehler am Supressor, IF-
Board oder MSB defekt
4xx TMP-Fehler (auch Temperatur)
400 E
Error number of TMP,
(Nr aus TMP)
49 15
402 E
No communication with
TMP
49 15
Kabel zur TMP, TMP
defekt, IF-Board oder MSB
defekt
403 E
TMP speed too low,
(TMP speed [Hz])
53 142
< 95%
Nom.
Value
Druck zu hoch, TMP defekt
404 E
TMP current too high,
(current [A])
49 2 3A
405 E No runup TMP 60 61 5 Min.
Druck zu hoch, TMP
fehlerhaft
410 E
TMP temperature too
high,
(Nr aus TMP)
49 2 61°C
TMP Err044, Err045,
Err117, Err118, Wrn119,
Wrn143
411 W
TMP temperature high,
(Nr aus TMP)
49 2 60°C
TMP Wrn045, Wrn076,
Err117, Err118, Err119,
Err143
420 E
TMP voltage too high,
(Nr aus TMP)
49 2 TMP Err002 bei ca. 30V
422 E
TMP no run up,
(Nr aus TMP)
49 2 8 Min. TMP Err006
423 W
TMP pressure rise,
(Nr aus TMP)
49 2 TMP Wrn168
Fehler-
nummer
Warning/
Errror
Fehleranzeige
LDS3000
Fehler-
nummer
LDS1000-
Protokoll
Fehler-
nummer
ASCII-
Protokoll *
Grenz-
werte
Ursache