INFICON LDS3000 Modular Leak Detector - Handbuch (Seite 38)

38 Betrieb
250 W
Internal voltage 5V out
of range,
(voltage [V])
24 120
4,5V
5,5V
+15V oder 5V zu klein,
Kurzschluss am
Vorverstärker, IF-Board
oder MSB defekt
252 E
Voltage REF5V
shortened,
(voltage [V])
24 120
+15V oder REF5V zu klein,
Kurzschluss am
Vorverstärker, IF-Board
oder MSB defekt
3xx Nachweissystem (Offset Vorverstärker, Vorverstärkertest, Emission, Katodentest)
300 W
Anode voltage too low,
(anode voltage [V])
41 132
7V <
Nom.
Value
Kurzschluss
Anodenspannung, zu
hoher Druck im
Massenspektrometer, IF-
Board, MSB oder
Ionenquelle defekt
301 W
Anode voltage too high,
(anode voltage [V])
40 131
7V >
Nom.
Value
MSB defekt
302 W
Suppressor voltage too
low,
(supressor voltage [V])
39 130 297V
Kurzschluss Supressor, IF-
Board oder MSB defekt
303 W
Suppressor voltage too
high,
(supressor voltage [V])
38 129 363V MSB defekt
304 W
Anode catode voltage
too low,
(anode - cathode
voltage)
36 127 40V
Kurzschluss Anode -
Kathode, IF-Board oder
MSB defekt
305 W
Anode catode voltage
too high,
(anode - cathode
voltage)
35 126 140V MSB defekt
310 W
Cathode 1 broken,
(actual status)
45 136
Kathode defekt, Leitung
zur Kathode unterbrochen,
IF-Board oder MSB defekt
311 W
Cathode 2 broken,
(actual status)
46 137
Kathode defekt, Leitung
zur Kathode unterbrochen,
IF-Board oder MSB defekt
312 E
Cathode broken,
(actual status)
47 138
Kathode defekt, Leitung
zur Kathode unterbrochen,
IF-Board oder MSB defekt
340 E
Emission error,
(emission current [A])
44 135
<90%
Nom.
value
>110%
Nom.
Value
Emission war vorher stabil,
vermutlich hoher Druck,
Meldung nach 15s
342 W
Cathodes not
connected
47 138
Beide Kathoden beim
Selbsttest defekt oder
Stecker nicht gesteckt
Fehler-
nummer
Warning/
Errror
Fehleranzeige
LDS3000
Fehler-
nummer
LDS1000-
Protokoll
Fehler-
nummer
ASCII-
Protokoll *
Grenz-
werte
Ursache