INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 10)

10 tina83d1-a (2014-02)
2 Technische Daten
Messbereich (Luft, N
2
)
MAG
MPG
1Ч10
-9 … 1Ч10 -2 mbar
1×10
-9
… 1000 mbar
Genauigkeit MAG (N
2
)
1Ч10
-8
… 1Ч10
-2
mbar 30% des Messwertes
Genauigkeit MPG (N
2
)
1×10 -8 … 100 mbar
100 … 1000 mbar
30% des Messwertes
50% des Messwertes
Wiederholbarkeit (N
2
)
MAG, 1Ч10
-8
… 1Ч10
-2
mbar
MPG, 1×10
-8
… 100 mbar
5% des Messwertes
5% des Messwertes
Gasartabhängigkeit
MAG
MPG
→  18
→  20
Spannungsbereich
(Analogausgang) 0 … +10.5 V
Messbereich
3MAx-xxx-0x0N
3MAx-xxx-0x0Q
3MBx-xxx-0x0P
+1.5 … +8.5 V (dc)
+0.667 … +10 V (dc)
+1.397 … +8.6 V (dc)
Beziehung Messsignal-Druck
3MAx-xxx-0x0N
3MAx-xxx-0x0Q
3MBx-xxx-0x0P
1 V/Dekade, logarithmisch
1.33 V/Dekade, logarithmisch
0.6 V/Dekade, logarithmisch
Statussignal 14.5 … 30 V (gezündet)
Fehlersignal
3MAx-xxx-0x0N
3MAx-xxx-0x0Q
3MBx-xxx-0x0P
<+0.5 V
≤+0.3 V
+9.5 … +10.5 V