INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 44)

44 tina83d1-a (2014-02)

Wir empfehlen die Innenwandungen der Messkammer bis
zur Nut des Sicherungsringes mit einem Poliertuch blank
zu reiben.
• Dichtfläche nur konzentrisch bearbeiten
• Anode nicht verbiegen

Neue Zündhilfe in das Montagewerkzeug einlegen und auf
die Anode schieben (Ersatzteile →  53).
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Neue Ionisationskammer (2) bis zum mechanischen An-
schlag in die Messkammer (3) schieben und Sicherungs-
ring (1) montieren (Ersatzteile
→  53).
3
2
1
Ausrichtung der
Ionisationskammer
beachten

Wir empfehlen einen Lecktest (Leckrate <1×10
-9
mbar l/s)
durchzuführen.