Bestimmungsgemäßer gebrauch, Funktion – INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge Benutzerhandbuch
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tina83d1-a (2014-02)
Bestimmungsgemäßer
Gebrauch
Gemini MAG500, MAG504
Die Cold Cathode Gauges Gemini MAG500 und MAG504 erlau-
ben die Vakuummessung von Gasen im Druckbereich von
1Ч10
-9
… 1Ч10
-2
mbar.
Messröhren mit PN 3MAx-xxx-0x0Q können mit einem INFICON
Messgerät der VGC40x-Serie betrieben werden.
Gemini MPG500, MPG504
Die Cold Cathode Pirani Gauges Gemini MPG500 und MPG504
erlauben die Vakuummessung im Druckbereich von
1×10
-9
… 1000 mbar.
Sie dürfen nicht für die Messung von leicht entzündbaren oder
brennbaren Gasen im Gemisch mit einem Oxidationsmittel (z. B:
Luftsauerstoff) innerhalb der Explosionsgrenzen verwendet
werden.
Sie können mit einem INFICON Messgerät der VGC40x-Serie
betrieben werden.
Funktion
Gemini MAG500, MAG504
Eingesetzt wird ein Kaltkathoden-Ionisationsmesskreis (nach
dem Prinzip des invertierten Magnetrons).
Das Messsignal ist über den gesamten Messbereich logarith-
misch vom Druck abhängig.