INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 6)

6 tina83d1-a (2014-02)
Inhalt
Produktidentifikation 2
Gültigkeit 3
Bestimmungsgemäßer Gebrauch 4
Funktion 4
Lieferumfang 5
1 Sicherheit 8
1.1 Verwendete Symbole 8
1.2 Personalqualifikation 8
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 9
1.4 Verantwortung und Gewährleistung 9
2 Technische Daten 10
2.1 Beziehung Messsignal – Druck 15
2.2 Gasartabhängigkeit MAG50x 18
2.3 Gasartabhängigkeit MPG50x 20
3 Einbau 23
3.1 Vakuumanschluss 23
3.2 Elektrischer Anschluss 27
3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig 28
3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig 29
4 Betrieb 30
4.1 Statusanzeige MAG 30
4.2 Statusanzeige MPG 31
4.3 MAG50x in Betrieb nehmen 32
4.4 MPG50x in Betrieb nehmen 32
4.5 Gasartabhängigkeit 33
4.6 Zündverzögerung 34
4.7 Verschmutzung 34
5 Ausbau 36
6 Instandhaltung, Instandsetzung 38
6.1 Messröhre abgleichen 38
6.2 Messröhre warten, Ersatzteile einbauen 40
6.2.1 Fehlerdiagnose an der Messkammer 41
6.2.2 Ionisationskammer und Zündhilfe ersetzen 43
6.2.3 Messkammer ersetzen 45