1 fehlerdiagnose an der messkammer – INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge Benutzerhandbuch

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tina83d1-a (2014-02)

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Vorsicht

Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sau-
beres Werkzeug benutzen.

GEFAHR

GEFAHR: Reinigungsmittel
Reinigungsmittel können zu Gesundheits- und Um-
weltschäden führen.
Beim Umgang mit Reinigungsmitteln die einschlä-
gigen Vorschriften beachten und die Schutzmaß-
nahmen bezüglich deren Handhabung und Entsor-
gung einhalten. Mögliche Reaktionen mit den Pro-
duktwerkstoffen (

→  13) berücksichtigen.

Voraussetzung

Messröhre ausgebaut.

6.2.1

Fehlerdiagnose an der Messkammer

Wird die Ursache einer Störung in der Messkammer selber ver-
mutet, lässt sich mit einem Ohmmeter zumindest eine grobe
Diagnose durchführen.

Benötigtes Werkzeug / Material

• Innensechskantschlüssel SW 2
• Zange für Sicherungsring
• Ohmmeter

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