2 messröhre warten, ersatzteile einbauen – INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge Benutzerhandbuch

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tina83d1-a (2014-02)

Für den HV-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift kurz

drücken (Dauer des Abgleichs

≈5 s).

Wird am Messsignalausgang ein Druck <1×10

-5

mbar

ausgegeben, war der Abgleich erfolgreich. Andern-
falls den Abgleich wiederholen.


6.2

Messröhre warten, Ersatzteile einbauen

Bei starker Verschmutzung oder Defekt (z. B. Pirani-

Heizfadenbruch (MPG50x)) die komplette Messkammer
austauschen (Ersatzteile

→  53).

GEFAHR

GEFAHR: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um-
weltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten
über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor-
schriften beachten und die Schutzmaßnahmen ein-
halten.

Vorsicht

Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Re-
geln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be-
schädigung beachten.

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