INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge Benutzerhandbuch
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tina83d1-a (2014-02)
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Messkammer kpl. vorsichtig bis zum mechanischen An-
schlag in die Elektronikeinheit (5) schieben.
Pins gerade ausgerichtet.
3
5
4
Messkammer (3) mit dem Gewindestift (4) arretieren.
6.2.3 Messkammer
ersetzen
Voraussetzung
Fehlerdiagnose an der Messkammer durchgeführt (
→
41).
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