INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 35)

tina83d1-a (2014-02) 35
Eine Verschmutzung der Messröhre führt im Allgemeinen zu
Abweichungen der Messwerte:
• Nur MPG50x: Im Bereich der hohen Drücke
(1×10
-3
mbar … 0.1 mbar) ergibt sich eine zu hohe Druckan-
zeige (Verschmutzung des Piranielements). Neuabgleich des
Pirani-Messsystems
→  38.
• Im Bereich der tiefen Drücke (p < 1×10 -3
mbar) ergibt sich im
Allgemeinen eine zu tiefe Druckanzeige (Verschmutzung des
Kaltkathodensystems). Bei starker Verschmutzung treten
auch Instabilitäten auf (Ablösen von Schichten in der Mess-
kammer). Bei Verschmutzung durch isolierende Schichten ist
sogar ein völliges Verlöschen der Gasentladung möglich.
Das Maß der Verschmutzung kann in begrenztem Rahmen
beeinflusst werden:
• Durch geometrische Schutzmaßnahmen (z. B. Abschirm-
bleche, Krümmer) für sich in gerader Linie ausbreitende
Teilchen.
• Durch gezielte Wahl der Messröhren-Flanschposition an
einem Ort, wo der Partialdruck der Verunreinigung minimal
ist.
Bei Dämpfen, die sich im Plasma (z. B. des Kaltkathoden-Mess-
systems) abscheiden, ist besondere Vorsicht geboten. Notfalls
die Messröhre während der Anwesenheit der Dämpfe ab-
schalten oder durch ein Ventil abschotten.