INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 47)

tina83d1-a (2014-02) 47
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Messkammer (3) mit dem Gewindestift (4) arretieren.
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MPG50x Messröhre: Manuellen ATM- und HV-Abgleich
des Pirani-Messkreises durchführen ( →  39).
Ein Abgleich der MAG50x-Messröhre ist nicht er-
forderlich.
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Wir empfehlen einen Lecktest (Leckrate <1×10
-9
mbar l/s)
und einen Funktionstest am Lecksucher durchzuführen.
WARNUNG
WARNUNG: Elektrischer Überschlag
Helium kann in der Elektronik des Produkts zu
elektrischen Überschlägen führen und diese zer-
stören.
Vor der Durchführung der Dichtheitsprüfung das
Produkt außer Betrieb setzen und Elektronikeinheit
abnehmen.