INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 42)

42 tina83d1-a (2014-02)
2
1
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5
4

Gewindestift (4) lösen und die komplette Messkammer (3)
aus der Elektronikeinheit (5) entfernen.

Sicherungsring (1) und Ionisationskammer (2) aus der
Messkammer (3) entfernen.

Ionisations- und Messkammer auf Verschmutzung prüfen:
• Nur Ionisationskammer verschmutzt: Ionisationskammer
ersetzten ( →  43)
• Messkammer stark verschmutzt: Komplette Messkam-
mer ersetzten ( →  45).