INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 23)

tina83d1-a (2014-02) 23
3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss
GEFAHR
GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar
Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va-
kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum-
fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im
Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete
Spannelemente verwenden.
GEFAHR
GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >2.5 bar
Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtun-
gen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr stand-
halten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden.