INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 43)

tina83d1-a (2014-02) 43

An den Kontaktstiften der Messkammer mittels Ohmmeter
folgende Messungen durchführen.
Messung
zwischen
Stiften
Mögliche Ursache
1 + 4 ≈40 Ω >>40 Ω Unterbruch Pirani-
Filament (nur MPG50x)
1 + 2 ≈1078 Ω
bei 20 °C
>>1078 Ω
bei 20 °C Unterbruch Pirani
Temperaturfühler (nur
MPG50x)
5 + Mess-
kammer
∞ <<∞ Verschmutzung, Kurz-
schluss Kaltkathode
1
2
3 4
5
Messkammer
Diese Fehler erfordern den Austausch der kompletten
Messkammer (
→  45).

Wir empfehlen einen Lecktest durchzuführen (Leckrate
<1×10 -9 mbar l/s).
6.2.2 Ionisationskammer und Zündhilfe ersetzen
Voraussetzung
Fehlerdiagnose an der Messkammer durchgeführt ( →  41).

Bei Verschmutzung die Zündhilfe mit dem Demontage-
werkzeug entfernen (Zubehör →  53).