3 gasartabhängigkeit mpg50x, Messbereich von 10, Mbar (reiner pirani-betrieb) – INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge Benutzerhandbuch
Seite 20: Angezeigter druck (messröhre abgeglichen für luft)
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20
tina83d1-a (2014-02)
2.3 Gasartabhängigkeit
MPG50x
Messbereich von 10
2
… 10
-2
mbar (reiner Pirani-Betrieb)
Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft)
p [mbar]
p
eff
[mbar]
10
2
8
6
4
2
10
1
8
6
4
2
10
0
8
6
4
2
10
–1
8
6
4
2
10
–2
H
2
He
Ne
Luft
N
2
O
2
CO
10
–3
2
4 6
10
–2
10
–1
10
0
10
1
10
2
8
2
4 6 8
2
4 6 8
2
4 6 8
2
4 6 8
H
2
O-Dampf
Anzeigenbereich
über 10
-2
mbar
Xe
Kr
Ar
CO
2
Freon 12
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