INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 38)

38 tina83d1-a (2014-02)
6 Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung
oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleiß-
teile (z. B Ionisationskammer, Zündhilfe, Pirani-Heiz-
faden (MPG50x)), fallen nicht unter die Gewährleistung.
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,
falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten
selber ausführen.
6.1 Messröhre abgleichen
MAG50x
Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen und wartungsfrei. Bei
Defekten
• nur die Ionisationskammer und die Zündhilfe, oder
• die Messkammer kpl. (Ersatzsensor) ersetzen.
MPG50x
Der für den tiefen Druckbereich (<1×10 -3 mbar) dominante Kalt-
kathoden-Messkreis ist werksseitig fest abgeglichen. Der HV-
Abgleich des Pirani-Messkreises erfolgt automatisch während
des Betriebs bei Drücken <1×10
-5
mbar. Der neue Nullpunktwert
wird alle 15 Minuten stromausfallsicher gespeichert. Beim Ab-
gleichen wird der Druckbereich zwischen etwa 10
-2
mbar und
10 2 mbar kaum beeinflusst.
Langzeitbetrieb, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingun-
gen, extreme Temperaturen, Alterung oder Verschmutzung kön-
nen im Pirani-Messkreis zu einer Nullpunktverschiebung führen
und periodisch einen manuellen Abgleich erfordern oder eine
Reinigung notwendig machen.
Ein manueller HV-Abgleich ist erforderlich (
→  , ), wenn die
Messröhre Drücke <10 -2 mbar nicht mehr ausgibt.