INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 37)

tina83d1-a (2014-02) 37

Messröhre außer Betrieb setzen und Messkabel
ausziehen.

Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutz-
kappe aufsetzen.
Bei der Demontage von CF-Flanschen kann es
vorteilhaft sein, die Elektronikeinheit vorüberge-
hend zu entfernen (
→  26).
Schutzkappe
Spannelement
Dichtung mit Zentrierring